CKD Technology не только имеет на складе совершенно новые машины, которые доступны немедленно.
У нас также есть детальный бизнес по аренде, готовый удовлетворить ваши конкретные производственные потребности, значительно снизив при этом ваши первоначальные инвестиции. Свяжитесь с нами для получения более подробной информации.
В CKD работает команда профессиональных инженеров, готовых предоставить услуги «под ключ».
По вопросам продажи подержанных машин свяжитесь с нами через Whatspp или по электронной почте.
-------------------------------------------------------------------------------------
Плазменная система MYW10 обеспечивает очень гибкий и высокопроизводительный процесс обработки поверхности пластин.
• Аргоноплазменная система атмосферного давления.
• Поточная плазменная обработка шириной 100 мм; обеспечивает в 2–5 раз более высокую эффективность и более чем на 30 % снижение эксплуатационных расходов по сравнению с традиционными методами.
• 100% нейтральная плазма; безопасно и бережно относится к чувствительным электронным компонентам — отсутствие плазменной бомбардировки, статического электричества, искр, искрения, пыли, высоких температур, поверхностной ряби или УФ-излучения, что гарантирует нулевое повреждение продукта.
• Универсальные химические процессы: процесс O2 для удаления органических загрязнений; Процесс H2 для удаления оксидов металлов и активации поверхностей изделий.
• Не вызывает загрязнения частицами или изменения шероховатости поверхности пластины.
• Совместимость с производством как пластин, так и ленточных рамок, что позволяет быстро переключаться между ними.
• Соответствует классу чистых помещений 10 и стандартам SEMI.
| Основные параметры | МГ10 |
| Требования к питанию | 380 В переменного тока, 13 кВт, 20 А, 50/60 Гц |
| Требования к давлению воздуха | 90 фунтов на квадратный дюйм (6 бар) |
| Размеры | 2000 х 2800 х 2200 мм |
| Масса | 2200 кг |
| Стандарты сертификации | ПОЛУ S2/S6/S8 |
| Точность позиционирования | XY: ±20 мкм при 3σ; Z: ±10 мкм при 3σ |
| Повторяемость по оси XYZ | XY: ±10 мкм при 3σ; Z: ±5 мкм при 3σ |
| Максимальная скорость | 1000 мм/с (XY) |
| Ускорение | 1,0 г |
| Система привода | Сервопривод переменного тока |
| Технические характеристики рабочей платформы | |
| Метод загрузки/разгрузки | OHT + порт загрузки + роботизированный манипулятор |
| Полезная нагрузка роботизированной руки | 3 кг |
| Совместимый размер пластины | 12 дюймов (300 мм) |
| Программное обеспечение Операционная система | Windows 10 |
| X/Y путешествие | 400 мм / 500 мм |
| Перемещение по оси Z | 20 мм |
| Протокол связи | СЕКС/ГЕМ |
| Рабочий диапазон | |
| Зона плазменной обработки (Ш × Г) | 300×300 мм |
| Угол контакта с водой после очистки (WCA) | WCA < 10° (кремниевая пластина) |
| Плазменный метод лечения | Процесс O2 для удаления органических загрязнений H2-процесс удаления оксидов металлов |
| Системные требования к плазменной системе | |
| Радиочастотная мощность | 600 Вт при 27,12 МГц |
| Основной плазменный газ | Аргон |
| Технологический газ | O2, N2 или H2 |
| Диапазон давления подачи газа | 40–100 фунтов на квадратный дюйм (0,3–0,7 МПа) |
Адрес
5-й этаж, корпус 2, № 182, улица Чанъань Сиань, город Чанъань, Дунгуань, провинция Гуандун, Китай.
Тел.
Электронная почта
